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成成都鑫南光机械设备有限公司是由一家百年老军工企业（国营南光机器厂）在改制过程中应运而生的股份制企业，公司顺利通过了：ISO9001：2008国际质量体系认证公司主要产品有：真空泵、旋片式真空泵、金属油扩散泵、光刻机、真空镀膜机、真空炉、氢气炉、真空排气台、扩散泵真空机组、分子泵真空机组、罗茨泵真空机组、真空设备、2X型旋片式真空泵、真空机组以及各种真空配件等产品。
主要技术指标：
1、 适用于Φ4"、Φ3"、Φ2"基片，基片厚度0.1～1㎜都可以。
2.、具有相对应的版夹盘，□5"×5"、□4"×4"、□2.5"×2.5"，随机配置其中之一。
3.、对准调节：X、Y±4mm，θ≤±5°
4.、对准精度：±1.0μm，多次翻转保持精度≤5μm。
5.、多点光源曝光头：
光源采用GCQ200Z型超高压直流球形汞灯。
照明范围：≤Φ120㎜。
光的不均匀性：Φ100㎜范围内≤±6%。
成像面照明：使用UV-A型表测量，光照度在5mw/㎝2左右（采用365测头测量）。
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沈网警备案20040880号
